CEE-200-CB （Brewer Science Inc.）是一种台式纺纱机和热板系统。该设备的主要用途是用于制造薄膜图案的旋转涂覆和烘烤光刻胶。也可用于其它材料的超快纺丝涂层。涂层的厚度取决于液体的粘度和旋转板的角速度，可编程范围很广。

CEE-200-CB系统的规格和性能

• 全不锈钢结构。
• 样品夹中的真空吸盘用来吸住旋转的晶圆。
• 纺纱周期可编程。
• 旋转速度可在0 - 12000 RPM范围内控制。
• 旋转速度重复性和分辨率< 0.2RPM。
• 电热板可加热到400摄氏度。
• 温度分辨率0.1度。
• 整个工作表面均匀度为0.3%。
• 该系统位于AMRI洁净室设施中。

样本数据